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供应双功能真空镀膜机

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品 牌: 均益 
型 号: ZD-1300 
单 价: 面议 
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供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
所在地: 广东 肇庆市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2013-05-15
浏览次数: 1996
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明

ZD-1300圆型立式磁控溅射(蒸发)双功能真空镀膜

 

(一)设备规格及技术规范:

  1. 真空室为圆型立式单开门设计,内腔尺寸Φ1300X1850mm采用A3钢板焊接而成.内配一套可装拆清洗的不锈钢衬板.
  2. 真空室内置一套公自转架,转架采用不锈钢材料制成传动齿轮等采用A3钢制成.表面度镍(防锈).装夹镀件的转轴可选用6/9轴,或单轴6-12轴中任何一个轴数.工件有效镀膜长度1.5米.当选用6转时可镀工件*大宽度400mm.镀小规格镀件时装夹工件笼架*大外圆Φ420mm.可装夹工件展开面积11.4m2当选用9轴时可镀工件*大宽度320mm展开面积12.8m2.8轴为12.5m2.*佳选择为6/9轴.或单8轴可兼顾镀400mm以内大工件和每炉得到*大装载量两大优点.
  3. 真空室门口两侧各设置一条平面靶.靶面宽度200mm.长度1780mm..包铝.纯铜.靶材各一条,中央配一套蒸发机构.
  4. 真空机组配置:A.K-800T凸腔型扩散泵一台.(配电15KW)

                        B.ZJ-1200罗茨泵一台.(11KW)

                        C.H-150滑阀泵一台(15KW).

                        D.2X-15旋片泵一台(2.2KW).

  5.抽真空周期(空载).从大气常压至8X10-3帕.不大于15分钟.极限真空3X10-3帕.

 

 

  6.电控系统:设置全自动/手动双控功能.交流接触器等主要电器件采用法国施耐德品牌(国产).汽控阀选用进口品牌,配美国艾默生PCL电腔式程序控程器,7英寸触摸屏.配一套40KW磁控溅射电源(国产)配北京清华大学电子工程系产真空控制仪.转架采用变频调速.蒸发系统配15KW电源,电子调压.

 

  1. 实行三包一年期.

 

(二)设备性能分析:

  1. 设备设置二条靶有几大优点:

    A:如两靶装置相同靶材再增一套磁控电源,可增快一倍镀膜速度

   B:装置两种靶材在一次镀膜过程中可在工件上先后镀二种材料.如在工件镀金属膜后.加镀一层透明氧化硅膜可起到保护金属膜的作用,取代二次喷漆(保护膜).当然此工艺在国内还有没有成熟经验,但通过探索和调整工艺完全有可能实现.

    C:在生产过程中,如需在不同工件,镀不同金属膜可轮换选择所需靶即可,免去停机更换靶材的麻烦.

  1. 设备可选择配置圆柱靶.其优点是,A:靶材利用率高.B:可设置在设中央:镀膜时工件同时可镀上膜.C:靶体装拆较方便.

存在缺点较明显,A:不可能加装蒸发系统.B:不能布装二条靶.因为靶体位置相近,一条靶工作时将另一条靶表面污染.如要受污染的靶进入工作,需一定时间清靶.清靶过程中会产生严重打火现象(所谓打火现象即靶在开始通电进入工作过程中,会将靶体表面污染物彻底轰击干净,在离子轰击过程中,污染物被剥离靶体时所产生的弧光现象)并严重污染工件,相反平面靶正好克服圆柱靶的缺点,另外当选用蒸发式镀膜时平面靶室加上护盖即可保护靶面而不受污染.

  1. 磁控溅射镀膜当需要起动靶进入工作状态时真空状态应需进

入10-3帕真空阶段为佳.当然真空度越高越好.因为靶从起动到正常工作状态.真空度越高所需时间越短.打火现象越少.所以真空工作室容积在3m3以下配用配置K-800T凸腔扩散泵增大抽速.以保证设备能正常工作并具备合理的性价比.

  1. 设备也可采用立式双门设计,其优点可使设备在一个门投入工作.另一个门装拆工件,提高一定功效,但缺点大于优点:理由是:设备每镀一炉全过程所需时间约20分钟.但拆换一次工件,熟练工一般在2-3分钟即可完成.剩下时间,工件及大门完全暴露在大气中,工件会受污染及吸湿,增加抽真空时间及影响镀膜质量,特别在雨季更明显.

另件,双门较单门价高10%.

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