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美国 KRI 考夫曼线性霍尔离子源 eH Linear

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品 牌: KRI 
型 号: KRI 线性霍尔离子源 eH Linear 
单 价: 11.00元/台 
起 订: 1 台 
供货总量: 11111 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-10-31
浏览次数: 228
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组能应用于宽范围的衬底离子源长度高达 1 通过严格调整模组间的距离可以实现##的均匀性和离子流由于模组是平行放置大大简化了气体功率和电子三者的分布.

KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化一个低成本高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

尺寸直径= 3.7 = 3

放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

伯东KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数:

型号

eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

供电

DC magnetic confinement

电压

40-200V VDC

阳极结构

模块化

电源控制

eHL-30010A

配置

-

阴极中和器

Filamentless

离子束发散角度

> 45° (hwhm)

阳极

标准或 Grooved

底座

移动或快接法兰

高度

10 cm

宽度

10 cm

长度

~ 100cm

-工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

Model

eHL 200-3

eHL 200-5

Height (nominal)

2.9” (7.4cm)

2.9” (7.4cm)

Width (nominal)

3.3” (8.4cm)

3.3” (8.4cm)

Length (nominal)

Determined by number of modules & application

Determined by number of modules & application

Cathode/Neutralizer

Yes

Yes

Anode module

Yes

Yes

Filamentless

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Process gases

Inert, reactive, & organic

Inert, reactive, & organic

Power controller

eH Plasma Power Pack

eH Plasma Power Pack


伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

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若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86                      M: +886-939-653-958
                      
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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